立坤生产钛靶块、锆靶块、镍靶块、溅射性靶材、TA1钛靶
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更新时间：2019-05-23 10:22:19 信息编号：8f2262e4g3a878

价格：
面议
产地：
陕西宝鸡
杂质含量：
0.02%
关键词：
镍靶

王俊超

18109172905

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详情介绍

立坤生产钛靶块、锆靶块、镍靶块、溅射性靶材、TA1钛靶

产品别名	钛靶块,真空镀膜钛靶材,钛圆弧靶,钛板靶	面向地区	陕西宝鸡	产地	陕西宝鸡
杂质含量	0.02%	粒度	10目	钛含量	70%

性能：

（1）纯度

纯度是靶材的主要性能指标之一，因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中，对靶材的纯度要求也不尽相同。

（2）杂质含量

靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如，半导体工业用的纯铝及铝合金靶材，对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。

（3）密度

为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。

（4）晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

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