产品别名 |
科研实验材料,陶瓷靶材,99.5WSi2,抗氧化覆盖材料 |
面向地区 |
二硅化钨又名硅化钨，它是一种无机硅化物。二硅化钨是一种黑灰色（蓝黑色）四方晶体。熔点2165℃，密度是9.3g/cm3，熔点2160℃，具有良好的抗氧化性，溶于王水，但是不溶于水，它可以和许多的物质发生剧烈反应，例如强酸、氟、氧化剂和卤间化合物等。WSi2常被用于微电子中作为触电材料，其中电阻是60-80μΩcm。同时它也经常被用多晶硅线上的分流器，从而增加多晶硅线的导电性和信号速度。我们公司生产二硅化钨靶材，可以生产平面和柱状靶材，生产工艺有PM,HIP,HP，长度200mm。生产出来的靶材纯度高，密度好，用于真空溅镀沉积二硅化钨薄膜，得到的膜层是良好的导体，适用于微电子等行业。
我们生产的二硅化钨元素成分表
ITEM | Chemical composition | |||||
Element | W | C | P | Fe | S | Si |
Content(wt%) | 76.22 | 0.01 | 0.001 | 0.12 | 0.004 | Balance |
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